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精密氣浮定位平臺的主要部件,包括底座、導(dǎo)軌、氣浮滑塊和頂板,由直線電機驅(qū)動。定位平臺的懸掛工作原理是將一定壓力的壓縮空氣引入供氣通道,氣體通過節(jié)流孔在氣浮滑塊與導(dǎo)...