「直線電機應(yīng)用」直線電機輔助3nm芯片工藝進展順利
發(fā)布時間:2019-08-12 11:06:45
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文章來源:深圳博智達機器人
導讀: 直線電機輔助3nm芯片工藝進展順利。上個月中旬,臺積電聯(lián)席主席TS-wei在一次投資者和金融分析師電話會議上表示,臺積電3nm芯片制造工藝的發(fā)展進展相當順利,已經(jīng)開始接觸早期客戶...
直線電機輔助3nm芯片工藝進展順利。上個月中旬,臺積電聯(lián)席主席TS-wei在一次投資者和金融分析師電話會議上表示,臺積電3nm芯片制造工藝的發(fā)展進展相當順利,已經(jīng)開始接觸早期客戶。
根據(jù)直線電機系列收集的數(shù)據(jù),CC-Wei只透露了臺積電在N3節(jié)點的技術(shù)發(fā)展進展順利,臺積電已經(jīng)評估了所有可能的晶體管結(jié)構(gòu)選擇,并為客戶提供了合理的解決方案。未提及N3的特性及其與N5相比的優(yōu)點。
此外,直線電機小系列可以確保臺積電3nm節(jié)點將使用深紫外(DUV)和極紫外(EUV)光刻設(shè)備。由于臺積電N5工藝使用14層EUV,相關(guān)人員希望使用N3。層數(shù)可能更高。
當談到極端紫外線(EUV)時,直線電機小系列必須提到荷蘭ASMA(ASML.O),因為到目前為止,只有ASMA成功地開發(fā)、制造和銷售了極端紫外線(EUV)設(shè)備。據(jù)報道,ASMA的主要業(yè)務(wù)是光刻機,它占光刻機市場的80%以上,在45納米及以下,并在EUV光刻領(lǐng)域處于壟斷地位。
近年來,隨著直線電機的迅速發(fā)展,它已與光刻設(shè)備相聯(lián)系。目前,在光刻機中使用直線電機的情況也比較普遍。對于上海微電子來說,它是專門從事半導體設(shè)備的。研發(fā)與制造,產(chǎn)品包括前光刻機、后包裝光刻機、平板顯示光刻機、測試設(shè)備、搬運設(shè)備等,以關(guān)鍵為重點,上海微電子多次向我方購買高性能、高性能的產(chǎn)品。博智達直線電機的質(zhì)量用于光刻機的開發(fā)和制造。
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