結(jié)構(gòu)簡單，適合高速直線運動，一次繞組利用率高，沒有橫向邊緣效應，容易克服單邊磁拉力的問題，易于調(diào)整和控制、適應性強和高速度、加速度在高精度加工中的應用有非常重要的優(yōu)勢。

    超精密加工是制造業(yè)的前沿科學，在工作中發(fā)揮著重要作用，尤其是在國防工業(yè)中。巡航導彈慣性制導裝置的陀螺儀、雷達關(guān)鍵器件的波導、衛(wèi)星儀器上的精密軸承和大型集成電路都涉及超精密加工。超精密機床的加工誤差在線補償和改善加工的形狀精度，為了處理一些特殊的非軸對稱表面，微飼料設(shè)備是必要的，和高精度微飼料設(shè)備已成為一個重要的超精密機床的關(guān)鍵設(shè)備。

    目前，博智達直線電機廣泛應用于精密微進給裝置中。其原理是利用電致伸縮效應。電致伸縮效應的變形與電場強度的平方成正比。它可以實現(xiàn)高剛度位移沒有差距，解決1。0~2。5nm，大變形系數(shù)，高頻率和響應時間為100μs。為了增加中風，通用汽車是由許多部分組成的晶體堆積在一起。尺蠖式壓電陶瓷電機分別由三個管狀陶瓷壓電控制部分，a和B的用于徑向擴張，夾緊和松開電機軸，而組件C是用于軸向膨脹，這樣電機軸產(chǎn)生軸向位移，實現(xiàn)逐步線性運動。

 

    美國LLL國家實驗室的dtm-3大型金剛石車床、lodtm大型光學金剛石車床、英國cranfieid公司的oagm2500大型精密機床均采用電致伸縮微進給裝置。

    超聲電機是一種新型的直接驅(qū)動電機，在國內(nèi)外受到了越來越多的關(guān)注。廣義而言，它也是一個壓電陶瓷電機。利用壓電陶瓷的逆壓電效應，通過共振放大和摩擦耦合將材料的微變形轉(zhuǎn)化為轉(zhuǎn)子或滑塊的宏觀運動。壓電陶瓷在適當?shù)倪\動電壓下可以形成單一的方向。當轉(zhuǎn)子在彈性體表面以適當?shù)膲毫ψ饔脮r，會產(chǎn)生由顆粒摩擦驅(qū)動的運動。如果行波方向改變，轉(zhuǎn)子就會反轉(zhuǎn)。

 

    超精密加工中，為了處理非球面形狀精度高，飼料超精密機床的傳動系統(tǒng)是需要非常高的分辨率，和每個脈沖的運動是0。01μm。幾個著名的外國公司的產(chǎn)品，但這是被禁止的，我們的國家。目前，國防科技大學、哈爾濱工業(yè)大學、清華大學等正在開展這方面的研究。超聲波電機具有體積小、重量輕、響應速度快、無電磁干擾、轉(zhuǎn)速低、轉(zhuǎn)矩大等特點。其行程可在10厘米內(nèi)取代傳統(tǒng)的電磁馬達。一步解決超聲電機與反饋閉環(huán)控制約為0。01μm，預計將取代機械摩擦傳動。由日本東京大學開發(fā)的saw線性超聲電機，其階躍分辨率高達5nm2。3，在特殊截面加工領(lǐng)域得到了應用。

 

    直線電機的直線運動響應快、精度高，已成功地應用于計算機控制的特殊截面工件（汽車發(fā)動機活塞、lobed軸承外圈滾道、活塞環(huán)、凸輪等）的精密車削磨削。與傳統(tǒng)的加工不規(guī)則內(nèi)外圓輪廓的“仿形”方法相比，具有編程靈活、加工精度高的特點，非常適合加工多品種、小批量的產(chǎn)品。